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    薄膜電晶體元件特性及新式製程技術優化之研究
    • 光電工程研究所 /106/ 博士
    • 研究生: 商名騏 指導教授: 范慶麟
    • 本論文針對目前市場上較具有延伸性潛力的薄膜電晶體分別提出兩套新式的製程技術並加以優化達到降低成本與高穩定的電特性。首先,金屬氧化物薄膜電晶體一般都採用下閘極上接觸式的結構,因為要考慮到光罩間對位的誤…
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